簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Evaporation.".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="射頻濺鍍"


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    沈積鈦薄膜於矽晶圓基材與氧化銦錫薄膜於撓性基材之殘留應力分析
    • 機械工程系 /99/ 博士
    • 研究生: 莊晉東 指導教授: 趙振綱 張瑞慶
    • 本文探討鈦(Ti)薄膜及氧化銦錫(Indium tin oxide, ITO)薄膜沈積於不同基材的殘留應力。鈦以電子束蒸鍍及射頻濺鍍製程沈積200nm厚度薄膜於矽晶圓基材表面上;氧化銦錫以射頻濺鍍製…
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